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... JIS class 2) Beam diameter (*1) 50µm 100µm 300µm75µm×2mm 150µm×2mm 450µm×2mm Resolution (*2) 2µm16µm 300µm2µm16µm 300µm Linearity (*3)±0.2%F.S. (Entire range) ±0.2%F.S. (80 to 120mm...
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